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具有电诱导源/漏扩展的纳米级SOI-MOSFET:抑制短沟道效应的新特性与设计考虑

介观与纳米尺度物理 2015-05-20 v1

摘要

本文介绍了沟道长度低于100 nm、具有电诱导浅源/漏结的SOI MOSFET的设计考虑。我们的仿真结果表明,将电诱导源/漏扩展应用于SOI MOSFET将成功控制短沟道效应,并提高击穿电压,即使对于沟道长度小于50 nm的情况也是如此。我们得出结论,如果侧栅长度等于主栅长度,热电子效应将得到最优抑制。

关键词

引用

@article{arxiv.1010.3487,
  title  = {Nanoscale SOI-MOSFETs with Electrically Induced Source/Drain Extension: Novel attributes and Design considerations for Suppressed Short-channel Effects},
  author = {Ali A. Orouji and M. Jagadesh Kumar},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1010.3487},
  year   = {2015}
}