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Pt(111) 上晶圆级单层六方氮化硼的外延生长

材料科学 2021-05-18 v1

摘要

在 2 英寸 Pt(111)/蓝宝石晶圆上制备了单层六方氮化硼。在 1000 至 1300 K 的工艺温度范围内,通过光电子产额测量对硼嗪气相沉积的生长进行了原位研究。生长动力学在较高温度下更慢,并遵循 tanh2^2 规律,该规律在较高温度下拟合更好。h-BN/Pt(111) 的晶体质量由扫描低能电子衍射(x-y LEED)推断。数据表明外延生长对生长温度有强烈依赖。主导结构为对齐的重合晶格,每 9 个 Pt(1×\times1) 晶胞上有 10 个 h-BN,并在毫米尺度上遵循衬底孪晶。

关键词

引用

@article{arxiv.2105.07215,
  title  = {Wafer-scale, epitaxial growth of single layer hexagonal boron nitride on Pt(111)},
  author = {Adrian Hemmi and Huanyao Cun and Steven Brems and Cedric Huyghebaert and Thomas Greber},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2105.07215},
  year   = {2021}
}