RF-MEMS 应用微悬臂梁致动器紧凑模型的验证
其他计算机科学
2008-12-18 v1
摘要
本文分析了用于面内和面外弯曲测试的微悬臂梁样本。对二维和三维数值模型进行了实验验证。随后讨论了面内和面外布局的主要特征。研究了平面模型在存在由大尖端位移和微梁初始曲率引起的几何非线性时预测吸合的有效性。本文旨在讨论二维模型作为紧凑工具替代某些模型降阶技术的能力，这些技术在同时存在机电和几何非线性时显得不适用。
引用
@article{arxiv.0805.0896,
title = {Validation of compact models of microcantilever actuators for RF-MEMS application},
author = {Eugenio Brusa and Antonio Della-Gaspera and Mircea Gh. Munteanu},
journal= {arXiv preprint arXiv:0805.0896},
year = {2008}
}
备注
Submitted on behalf of EDA Publishing Association (http://irevues.inist.fr/handle/2042/16838)