T 形微悬臂梁谐振器的建模
其他计算机科学
2008-02-22 v1
摘要
微机械谐振器的广泛研发旨在使这些器件能够用于高灵敏度应用。微悬臂梁是最简单的 MEMS 结构之一，因其优异的机械性能而被证明是一个良好的平台。工作在动态模式下的悬臂梁会根据谐振器的弹簧常数 (k) 和质量 (m) 的变化调整其共振频率。本工作的目的是对悬臂梁结构进行建模，以确定最佳尺寸，使得共振频率主要由质量变化而非刚度变化主导。为了验证该模型，制造并表征了一组微悬臂梁。
引用
@article{arxiv.0802.3102,
title = {Modeling of T-Shaped Microcantilever Resonators},
author = {M. Narducci and E. Figueras and I. Gracia and L. Fonseca and J. Santander and C. Cané},
journal= {arXiv preprint arXiv:0802.3102},
year = {2008}
}
备注
Submitted on behalf of EDA Publishing Association (http://irevues.inist.fr/EDA-Publishing)