用于带通滤波的微机械悬臂梁谐振器与基于MEMS的无源器件的比较研究
其他计算机科学
2011-06-13 v1
摘要
在过去几年中，基于MEMS的无源器件在射频微电子领域，特别是在收发器组件中，得到了显著增长。这是因为MEMS器件在微波频段具有低损耗、优异隔离度等优良特性，而在此频段，片上无源器件通常会变得更具泄漏性，从而降低收发器性能。本文对用于射频应用的基于MEMS谐振器和基于MEMS无源器件的带通滤波器配置进行了比较分析，包括它们的设计、仿真、制造和表征。这些滤波器设计为中心频率455 kHz，旨在用作超外差接收机中的中频（IF）滤波器。滤波器结构采用PolyMUMPs工艺（一种三层多晶硅表面微加工工艺）制造。
引用
@article{arxiv.1106.1894,
title = {A Comparative Study Between a Micromechanical Cantilever Resonator and MEMS-based Passives for Band-pass Filtering Application},
author = {J. Basu and A. Bhattacharya and S. Chakraborty and T. K. Bhattacharyya},
journal= {arXiv preprint arXiv:1106.1894},
year = {2011}
}
备注
6 pages, 15 figures