微机械谐振器的设计与制造
其他计算机科学
2012-02-15 v1
摘要
基于微机电系统（MEMS）的片上谐振器因其小尺寸、大频率-品质因数乘积、与CMOS集成电路的集成能力、低功耗等卓越特性，在传感和高频信号处理应用中具有巨大潜力。本工作主要针对呈现径向轮廓模式振动的微机械加工多晶硅盘式谐振器的设计、建模、仿真和制造。还探索了一些其他体模式改进的谐振器几何结构。谐振器结构已在CoventorWare有限元平台上设计和仿真，并通过PolyMUMPs表面微加工工艺制造。
引用
@article{arxiv.1202.3048,
title = {Design and Fabrication of Micromachined Resonators},
author = {Ritesh Ray Chaudhuri and Joydeep Basu and Tarun Kanti Bhattacharyya},
journal= {arXiv preprint arXiv:1202.3048},
year = {2012}
}
备注
7 pages, 12 figures