微结构中大力与偏转的测量
其他计算机科学
2008-12-18 v1
摘要
典型 MEMS 材料的属性已被广泛研究。MEMS 结构的机械属性不仅取决于体材料属性，还取决于结构因素。我们构建了一套测量系统，用于测量微结构上的力/偏转，以检验某些结构属性。这是一个集成了负载传感器和线性致动器的探针台装置。首先确立了测量系统的要求，随后搭建并表征了该系统。我们成功地对一种典型的微机械结构——悬臂梁加速度计设计进行了测量。本论文将展示实验中研究的探针放置精度、沿检测质量的弹簧常数、力/偏转曲线形状分析以及悬臂梁的破坏性测试。
引用
@article{arxiv.0805.0864,
title = {Measurement of Large Forces and Deflections in Microstructures},
author = {Kai Axel Hals and Einar Halvorsen and Xuyuan Chen},
journal= {arXiv preprint arXiv:0805.0864},
year = {2008}
}
备注
Submitted on behalf of EDA Publishing Association (http://irevues.inist.fr/handle/2042/16838)