基于解析压膜阻尼与机械热弹性方法的 MEMS 电容式加速度传感器动态灵敏度研究
应用物理
2018-08-28 v1
摘要
利用基于压膜阻尼（SFD）模型与理想气体方法的理论途径，评估电容式微机电（MEMS）加速度计的动态行为。研究考察了温度从 228 K 到 398 K、压力从 20 到 1000 Pa 范围内器件的性能，观察机械换能器内部被困阻尼气体。在整个温度范围内考虑了硅基体的热弹性性质。考虑的阻尼气体为空气、氦气和氩气。以频域中的机电灵敏度（SEM）作为主要品质因数，评估系统的全局行为。结果展示了 SFD 主要损耗机制的行为以及 MEMS 换能器系统的动态灵敏度，并与实验动态结果行为吻合良好。
引用
@article{arxiv.1708.01812,
title = {Dynamic Sensitivity Study of MEMS Capacitive Acceleration Transducer Based on Analytical Squeeze Film Damping and Mechanical Thermoelasticity Approaches},
author = {Liangrid Lutiani Silva and Janderson Rocha Rodrigues and Angelo Passaro and Vilson Rosa Almeida},
journal= {arXiv preprint arXiv:1708.01812},
year = {2018}
}