硅基微机械热阻式流量传感器的灵敏度优化
仪器与探测器
2018-04-23 v1 应用物理
摘要
我们报道了一种优化的微机械热式流量传感器，其作为用于水网监测的自主多参数传感装置的一部分。该传感器在以下约束下进行了优化：低功耗和高灵敏度，同时采用大热导率衬底，即硅。所得器件由沉积在薄硅柱上的铂电阻加热器构成，硅柱高约 100 m、宽 5 m，位于近 100 m 宽空腔的中部。在风速计方案下运行，所报道的传感器在最高 1 m/s 的速度范围内展现出比基于类似高导热衬底（如体硅或硅膜）的不同传感器更大的灵敏度，功耗为 44 mW。通过 CFD 仿真与实验表征对所得性能进行了评估。
引用
@article{arxiv.1804.07524,
title = {Sensitivity optimization of micro-machined thermo-resistive flow-rate sensors on silicon substrates},
author = {Shaun Ferdous and Sreyash Sarkar and Frederic Marty and Patrick Poulichet and William César and E. Nefzaoui and Tarik Bourouina},
journal= {arXiv preprint arXiv:1804.07524},
year = {2018}
}