透明氧化物衬底上激光加工的超薄微尺度铂温度计
仪器与探测器
2019-11-12 v1
摘要
超薄微尺度电阻温度计对许多应用具有关键价值。在此，我们制备了一种激光加工的宽50 m、厚50 nm的蛇形Pt薄膜传感器，能够在多次加热和冷却循环中感知高达650 C的温度。我们研究了多种材料及相关工艺条件，包括蓝宝石和二氧化硅作为透明衬底、氧化铝和TiO2作为粘附层，以及氧化铝和氧化硅作为覆盖层。原位电阻监测有助于验证传感器的多循环稳定性并指导优化。10 m尺寸的传感器可通过激光加工，但无法在多次加热和冷却循环中存活。我们证明具有非晶Ge薄层的传感器也可重复测量高达650 C的温度。预计该传感器可用于激光加工应用中快速且高空间分辨率的温度探测。
引用
@article{arxiv.1905.09812,
title = {Laser machined ultrathin microscale platinum thermometers on transparent oxide substrates},
author = {Letian Wang and Zeqing Jin and Dongwoo Paeng and Yoonsoo Rho and Jiangyou Long and Matthew Eliceiri and YS. Kim and Costas P. Grigoropoulos},
journal= {arXiv preprint arXiv:1905.09812},
year = {2019}
}