基于弯曲微机械梁跳变检测的流量传感器
应用物理
2018-06-15 v1
摘要
我们报道了一种基于静电驱动双稳态微机械梁跳变检测的流速测量技术。我们表明诱导的电热焦耳加热和对流空气冷却改变了梁的曲率，从而改变了临界跳变电压（）。使用单晶硅梁，我们展示了跳变电压对流速的灵敏度为 V s m，功耗为 W。我们的实验结果与降阶的耦合热-电-机械模型预测一致。我们预期弯曲微机械梁中的静电诱导跳变将为自主应用与环境传感器的微型化流量传感器的设计与实现开辟新方向。
引用
@article{arxiv.1806.05396,
title = {Flow sensor based on the snap-through detection of a curved micromechanical beam},
author = {Yoav Kessler and Robert Ilic and Slava Krylov and Alex Liberzon},
journal= {arXiv preprint arXiv:1806.05396},
year = {2018}
}
备注
Submitted to JMEMS letters, 3 pages, 2 figures