基于分岔的 MEMS 传感器的压阻式突跳检测

我们报道了一种用于检测基于分岔的微机电系统（MEMS）传感器中稳定性丧失事件的压阻方法。该方法涉及测量整个梁的电阻率变化，以检测静电驱动、双端固定的晶体硅（Si）微梁中的突跳（snap-through）跃迁。我们展示了该建议方法在两种类型传感器中的适用性：环境温度传感器或平均空气流速传感器。在这两种情况下，作为传感元件的双稳态梁均受到电热焦耳加热和空气冷却的影响。测量信号是通过监测突跳跃迁的临界电压获得的。压阻传感特别适用于暴露于环境中的独立加热微梁传感器的响应监测，而在这些场景中光学、压电或静电询问方法并不适用。该方法可实施于各种分岔微传感器中，并用于双稳态致动器的响应监测。