基于硅纳米线压阻检测的面内纳机电谐振器
介观与纳米尺度物理
2015-05-14 v1 仪器与探测器
量子物理
摘要
我们报道了一种采用自上而下纳机电系统的驱动/检测方案，用于基于频移的传感应用，具有卓越的性能。该方案依赖于静电驱动和压阻纳米线应变计来实现面内运动转换。其制造工艺完全与CMOS兼容。结果显示，该方案具有超过100dB的极大动态范围(DR)和前所未有的69dB信号背景比(SBR)，在NEMS领域的现有技术中，检测效率提高了两个数量级。如此大的动态范围源于可忽略的1/f噪声以及相对于热机械噪声非常低的约翰逊噪声。这种简单的低功耗检测方案为新型鲁棒质量谐振传感器铺平了道路。
引用
@article{arxiv.1001.1727,
title = {In-plane nanoelectromechanical resonators based on silicon nanowire piezoresistive detection},
author = {Ervin Mile and Guillaume Jourdan and Igor Bargatin and Sebastien Labarthe and Carine Marcoux and Philippe Andreucci and Sebastien Hentz and Chaddy Kharrat and Eric Colinet and Laurent Duraffourg},
journal= {arXiv preprint arXiv:1001.1727},
year = {2015}
}