谐振纳机电质量传感器的自激振荡条件
介观与纳米尺度物理
2015-05-14 v1 仪器与探测器
摘要
本文介绍了基于谐振纳机电系统（NEMS）的纳质量传感应用中集成振荡器的全面研究和设计方法。特别地，它报告了电容式和压阻式换能方案在整体传感器性能方面的比较。所开发的模型与基于 NEMS 的质量检测的一般实验观察结果明显一致。压阻式器件比电容式器件（接近 100 zg/√Hz）灵敏得多（高达 10 zg/√Hz），因为它们可以在更高频率下工作。此外，高掺杂硅压阻应变计，对于超大规模集成非常有兴趣，显示出与已在实验中使用的金属应变计相似的理论分辨率。
引用
@article{arxiv.1001.2149,
title = {Self-oscillation conditions of a resonant-nano-electromechanical mass sensor},
author = {Eric Colinet and Laurent Duraffourg and Sebastien Labarthe and Philippe Andreucci and Sebastien Hentz and Philippe Robert},
journal= {arXiv preprint arXiv:1001.2149},
year = {2015}
}