从微机电系统到纳机电系统缩放加速度计时电容式与频率式读出的比较
仪器与探测器
2012-05-23 v1
摘要
本文展示了将硅加速度计从MEMS缩小到NEMS的效果。它对电容式和谐振式器件的电子噪声源和布朗噪声源进行了建模，并计算了可达到的最小可检测信号。计算结果与已发表的实验结果非常接近。它显示了在谐振情况下品质因数和梁宽的相对较低的影响。研究了不同的缩放规则，结果表明谐振传感可能满足一些新的应用需求，特别是当关键尺寸低于几百纳米时，其分辨率优于电容传感。
引用
@article{arxiv.1205.4860,
title = {Comparison of capacitive and frequential readout when scaling accelerometers down from Micro- to Nano- Electro Mechanical Systems},
author = {Sébastien Hentz and Laurent Duraffourg and Eric Colinet},
journal= {arXiv preprint arXiv:1205.4860},
year = {2012}
}