扫描电子显微镜中的信噪比：综合综述
机器学习
2025-10-10 v1
摘要
扫描电子显微镜(SEM)因其高空间分辨率和深度视野，在纳米技术、材料科学和生物成像中至关重要。信噪比(SNR)是SEM中的关键参数，因为它直接影响图像质量和可解释性。SEM在 various scientific disciplines 中应用广泛，但由于噪声会降低图像清晰度，其实用性可能受到影响。本综述探讨了SEM成像过程的多个方面，从SEM的基本操作、噪声来源、SNR测量与估计方法，到影响SNR测量的各种因素以及从硬件和软件角度提高SNR的方法。我们审查了传统和新兴技术，关注其应用、优势和局限性。本文旨在为研究人员和实践者提供关于SEM中SNR优化的全面理解，并鼓励该领域进一步研究。
引用
@article{arxiv.2510.07886,
title = {Signal-to-Noise Ratio in Scanning Electron Microscopy: A Comprehensive Review},
author = {K. S. Sim and I. Bukhori and D. C. Y. Ong and K. B. Gan},
journal= {arXiv preprint arXiv:2510.07886},
year = {2025}
}
备注
in IEEE Access, vol. 13, pp. 154395-154421, 2025, doi: 10.1109/ACCESS.2025.3603013