扫描电镜与能谱仪参数分析与校准及其结果改进
应用物理
2023-10-24 v1
摘要
扫描电子显微镜（SEM）与电子能谱仪（EDS）是纳米科学与纳米技术领域的两种高效仪器。这些仪器的质量由多种因素决定，其中高分辨率是关键之一。为确定 SEM 实际可达分辨率，通常采用碳基底上金颗粒等标准样品。另一方面，黄铜、氧化铝或 MEMS 等高要求且常用的材料，在改进材料表征方面具有重要意义。本研究通过四个步骤分析了五种不同样品，以观察像散与光阑失准的影响、背散射电子（BSE）与二次电子（SE）图像中带电未镀膜样品的镜面效应、基于定性与定量方法的成分与形貌分析，并最终将所有步骤应用于微机电系统（MEMS）器件。本研究说明了即便用户实验需使用低加速电压，也可通过调节输入参数控制镜面效应。此外，讨论探讨了 EDS 分析中某些特定元素部分峰缺失的可能原因。
引用
@article{arxiv.2310.14401,
title = {Analysis and Calibration of Electron-Dispersive Spectroscope and Scanning Electron Microscope Parameters to Improve their Results},
author = {Hamidreza Moradi and Fatemeh Mehradnia},
journal= {arXiv preprint arXiv:2310.14401},
year = {2023}
}