用于样品上下表面同时成像的扫描电镜静电电子镜
应用物理
2020-12-21 v1
摘要
电子镜在像差校正和表面敏感显微技术（如低能电子显微术）中的使用已经确立。然而，在这项工作中，通过在常规扫描电子显微镜（SEM）中样品下方实现一个易于构建的全静电电子镜系统，我们提出了一种新的成像方案，该方案允许我们同时形成样品顶面和底面的扫描图像。我们相信这种成像方案对于原位SEM领域具有重大价值，该领域此前仅限于一次观察样品一侧的裂纹扩展及其他表面现象等动态变化。我们分析了使用平面与凹面电子镜系统时的图像特性，并讨论了两种不同的工作模式。除原位SEM外，我们预见我们的成像方案可借助SEM中电子镜的使用，在无复杂束分离器需求的情况下为球差校正开辟途径。
引用
@article{arxiv.2012.09902,
title = {Electrostatic electron mirror in SEM for simultaneous imaging of top and bottom surfaces of a sample},
author = {Navid Abedzadeh and M. A. R. Krielaart and Chung-Soo Kim and John Simonaitis and Richard Hobbs and Pieter Kruit and Karl K. Berggren},
journal= {arXiv preprint arXiv:2012.09902},
year = {2020}
}