对称性破缺与机械滤波器造就具有多种扫描模式的伪无框架二维 MEMS 扫描镜
应用物理
2024-01-02 v1
摘要
基于微机电系统 (MEMS) 技术的微型化二维扫描镜在汽车工业、消费电子和生物医学等领域具有巨大潜力。由于其高频和大角度特性，共振扫描是所有 MEMS 驱动机制的主流，例如谐波共振电磁扫描器和参数共振静电扫描器。虽然静电扫描器具有低功耗和 IC 工艺兼容性的优点，但参数共振的一些缺点，包括驱动电子设备的倍频以及额外的反馈控制或频率稳定系统，限制了其进一步应用。本文打破了共面静电梳齿致动器的对称性，实现了性能优异的谐波共振静电扫描器。此外，通过采用机械滤波器，仅通过一组致动器即可实现二维扫描，从而避免了两组（每组对应一个维度）静电致动器必须通过复杂且昂贵的工艺相互绝缘的问题。提出并演示了一种基于对称性破缺和机械滤波器的二维 MEMS 扫描器。通过对一组四个相同致动器的选择性控制，可以实现多种扫描模式。
引用
@article{arxiv.2401.00145,
title = {Symmetry breaking and mechanical filter make a pseudo-gimbal-less two-dimensional MEMS scanning mirror with multiple scanning modes},
author = {Weimin Wang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2401.00145},
year = {2024}
}
备注
20 pages, 8 figures