快速谐振MEMS扫描器的片上频率调谐
应用物理
2022-06-15 v1
摘要
报道了一种压电驱动、具备片上频率调谐能力的高频MEMS扫描镜的研制与表征。该谐振扫描器工作频率超过140 kHz，在40 V驱动下两个正交运动模式分别产生10°和6°的扫描角。片上频率调谐通过制备在镜面主悬臂旁的电热驱动器实现。电热驱动器产生全局与局部温升，改变悬臂刚度从而改变谐振频率。实现了高达5.5 kHz的谐振频率调谐范围，且调谐仅对两种正交扫描运动模式之一占主导。这为使用具有双正交谐振模式的单一谐振MEMS扫描器精确调谐二维利萨如扫描图样开辟了可能，可在保持两种谐振运动模式完整角度范围的同时实现高达20 kHz的整帧更新率。
引用
@article{arxiv.2206.06785,
title = {On-chip frequency tuning of fast resonant MEMS scanner},
author = {Paul Janin and Deepak Uttamchandani and Ralf Bauer},
journal= {arXiv preprint arXiv:2206.06785},
year = {2022}
}