硅衬底上的可调谐 MEMS VCSEL
应用物理
2019-03-22 v1 光学
摘要
我们展示了一款 MEMS VCSEL 的设计、制备与表征,其利用绝缘体上硅晶圆作为微机电系统,并通过直接 InP 晶圆键合封装该 MEMS,从而改善对调谐元件的保护与控制。该工艺实现了更稳健的制备、更大的自由光谱范围,并便于 MEMS 元件的双向调谐。该 MEMS VCSEL 器件采用 MEMS 台面上的高对比度光栅反射镜作为底镜、具有量子阱的键合 InP 晶圆用于放大、以及沉积的电介质 DBR 作为顶镜。演示了 40 nm 的调谐范围和超过 2 MHz 的机械谐振频率。
引用
@article{arxiv.1903.08691,
title = {Tunable MEMS VCSEL on Silicon substrate},
author = {Hitesh Kumar Sahoo and Thor Ansbæk and Luisa Ottaviano and Elizaveta Semenova and Fyodor Zubov and Ole Hansen and Kresten Yvind},
journal= {arXiv preprint arXiv:1903.08691},
year = {2019}
}