用于中红外 VCSEL 应用的 Si/Si3N4 高对比度光栅反射镜的鲁棒设计
光学
2012-05-04 v1
摘要
设计了一种用于中红外 ({\lambda} = 2.65 m) VCSEL 集成的 Si/Si3N4 高对比度光栅反射镜。通过使用最大化 VCSEL 反射镜品质因数的优化算法，在保持大而浅的光栅图案的同时调整了光栅参数。通过对光栅尺寸公差的精确研究，增强了针对制造误差的鲁棒性。最终的反射镜展现出大的高反射率带宽，具有偏振选择性，并且对光栅尺寸具有百分之几的公差容限。
引用
@article{arxiv.1205.0630,
title = {Robust design of Si/Si3N4 high contrast grating mirror for mid-infrared VCSEL application},
author = {Christyves Chevallier and Nicolas Fressengeas and Frédéric Genty and Joel Jacquet},
journal= {arXiv preprint arXiv:1205.0630},
year = {2012}
}
备注
The final publication is available at http://www.springerlink.com, Optical and Quantum Electronics (2012) Online First