利用纳米氧化对光机械晶体进行原位调谐
光学
2023-12-05 v1 应用物理
摘要
光机械晶体是用于量子转换和传感的有前景的器件平台。精确控制这些器件的光学和声学共振频率对于未来在这些方面的进展至关重要。然而，这些波长尺度的纳米器件中的制造无序通常会导致非均匀的共振频率。在这里，我们通过使用原子力显微镜进行电场诱导纳米氧化，实现了硅光机械晶体中光学和声学共振的原位选择性频率调谐。对于电信 C 波段的光学共振波长，我们的方法可以实现 >2 nm (0.13%) 的调谐范围；对于 5 GHz 处的声学共振频率，可以实现 >60 MHz (1.2%) 的调谐范围。光学波长 1.1 nm 和声学频率 kHz 的调谐分辨率，使我们能够利用通过逆向设计方案确定的最佳氧化图案，在光谱上对齐多个光机械晶体谐振器。我们的结果确立了一种对光机械晶体进行制造后精确调谐的方法。该技术可以实现耦合的光机械谐振器阵列、可扩展的谐振光机械电路，以及微波-光学量子转换器的频率匹配。
引用
@article{arxiv.2312.02123,
title = {In-situ tuning of optomechanical crystals with nano-oxidation},
author = {Utku Hatipoglu and Sameer Sonar and David P. Lake and Srujan Meesala and Oskar Painter},
journal= {arXiv preprint arXiv:2312.02123},
year = {2023}
}