通过NEMS集成实现光机械晶体腔的调谐与稳定
应用物理
2018-07-12 v1 光学
摘要
纳米梁光机械晶体将局域的GHz频率机械模式与波长尺度光学模式耦合，正被应用于不同材料平台上的多种实验中。在此，我们展示了此类器件的静电调谐与稳定，方法是将SiN狭缝模式光机械晶体腔与纳米机电系统（NEMS）元件集成，该元件控制附加“调谐”光束在光机械腔光学近场内的位移。在直流工作下，观察到光学腔波长跨数个光学线宽调谐，且光学品质因子退化很小（）。测量了调谐机制的交流响应，揭示出致动器共振频率在10 MHz至20 MHz范围内，与仿真预测一致。演示了光学模式共振频率的反馈控制，并给出了替代致动器几何结构。
引用
@article{arxiv.1807.03831,
title = {Tuning and Stabilization of Optomechanical Crystal Cavities Through NEMS Integration},
author = {Karen E. Grutter and Marcelo Davanço and Krishna C. Balram and Kartik Srinivasan},
journal= {arXiv preprint arXiv:1807.03831},
year = {2018}
}