可调GHz频率光机械晶体谐振器的设计

我们提出了一种硅光机械纳米梁设计，其具有位于 10.2 GHz 的动态可调声学模式。谐振频率可通过片上电容器以 90 kHz/V^2 偏移，该电容器经优化可在 10 V 工作电压下施加高达 1 $\mu$N 的力。光学谐振频率约为 190 THz，Q 因子高达 $2.2 \times 10^6$，使该结构处于良好分辨的边带区，其真空光机械耦合率高达 $g_0/2\pi = 353$ kHz。调谐可用于例如克服由于制造误差导致的器件间声学谐振频率差异，从而为由光机械腔阵列构成的光机械电路铺平道路。