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用于三模光声参量放大器的高质量因子毫克级硅机械谐振器

仪器与探测器 2013-03-27 v1 光学

摘要

毫克级谐振器已被证明适用于创建三模光声参量放大器,这是基于最初为先进引力波探测器预测的现象。为了实现实用的光声参量放大,需要高品质因子的谐振器。我们展示了毫米级硅谐振器的设计,旨在表现出频率在 10^5 - 10^6 Hz 范围内的扭转振动模式,以便在紧凑型桌面系统中观察三模光声相互作用。我们的设计包含一个隔离级,并最大限度地减少了光学涂层带来的声学损耗。在室温和 10^-3 Pa 压力下,我们观察到在 401.5 kHz 的模式频率下,品质因子为 7.5 x 10^5。我们通过映射谐振器上的振幅响应并与有限元建模进行比较,确认了模式形状。这项研究有助于开发用于新型高灵敏度信号换能器和量子测量实验的三模光声参量放大器。

关键词

引用

@article{arxiv.1303.6595,
  title  = {High quality factor mg-scale silicon mechanical resonators for 3-mode optoacoustic parametric amplifiers},
  author = {Francis Achilles Torres and Phillip Meng and Li Ju and Chunnong Zhao and David Gerald Blair and Kai-Yu Liu and Shiuh Chao and Mariusz Martyniuk and Isabelle Roch-Jeune and Raffaele Flaminio and Christophe Michel},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1303.6595},
  year   = {2013}
}

备注

6 pages, 4 figures, 2 tables