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高频高品质碳化硅光机械微腔

光学 2015-09-01 v1

摘要

碳化硅 (SiC) 表现出优异的材料特性,对广泛的应用具有吸引力。我们展示了首个将高机械频率、高机械品质因数与高光学品质因数集成于单一器件的 SiC 光机械微腔。该径向呼吸机械模式在空气中的机械频率高达 1.69 GHz,机械 Q 值约为 5500,对应的机械 f-Q 乘积高达 9.47x10^12 Hz。强的光机械耦合使我们能够通过光波有效地激发和探测相干机械振荡。所展示的器件结合 SiC 优越的热性能、化学惰性和缺陷特性,在计量学、传感和量子光子学中展现出巨大的应用潜力,特别是在对其他器件平台具有挑战性的恶劣环境中。

关键词

引用

@article{arxiv.1508.07844,
  title  = {High-frequency and high-quality silicon carbide optomechanical microresonators},
  author = {Xiyuan Lu and Jonathan Y. Lee and Qiang Lin},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1508.07844},
  year   = {2015}
}

备注

18 pages, 5 figures