半绝缘4H-SiC横向体声波谐振器
材料科学
2021-03-23 v3
摘要
碳化硅（SiC）以其优异的力学特性著称，在微机电系统（MEMS）中被广泛研究。近年来，4H-SiC中色心的力学调控已被证实，拓展了其在量子自旋电子学中的应用。机械谐振器中产生的应变可用于操控色心量子比特的量子态。本工作报道了一种由半绝缘（SI）体4H-SiC晶圆制备的横向泛音机械谐振器。在SiC上采用氮化铝（AlN）压电换能器驱动谐振。该谐振器展现出一系列品质因数（Q）高于3000的模态。位于锚区的声反射器在300 MHz谐振处使Q提升了22%，并抑制了偏离该频率的泛音模态。这种单片SiC谐振器允许从晶圆两侧对SiC色心进行光学访问，为量子测量提供了便利的装置条件。
引用
@article{arxiv.2101.03281,
title = {Semi-insulating 4H-SiC lateral bulk acoustic wave resonators},
author = {Boyang Jiang and Noah F. Opondo and Sunil A. Bhave},
journal= {arXiv preprint arXiv:2101.03281},
year = {2021}
}
备注
4 pages 5 figures