基于 SiC 上 AlScN 的近 6 GHz Sezawa 模声表面波谐振器
应用物理
2023-11-16 v1
摘要
采用 4H-碳化硅（SiC）衬底上氮化铝钪（AlScN）的声表面波（SAW）器件，独特地兼具高声速、低热阻、显著压电响应、简化制备以及适用于高温和恶劣环境工作的优点。本研究展示了在 SiC 衬底上采用 AlScN 薄膜的高频 SAW 谐振器，利用第二 SAW 模（称为 Sezawa 模）。该谐振器实现了卓越性能，在 4.7 GHz 处具备 5.5% 的 K2 值和 1048 的最大 Q 值（Qmax），优于以往基准。此外，波长为 960 nm 的 SAW 谐振器在 5.9 GHz 频率下实现了创纪录的 K2（4.0%）和 Qmax（887）。我们的研究强调了 SiC 上 AlScN 平台在先进射频应用中的潜力。
引用
@article{arxiv.2311.08694,
title = {Near 6 GHz Sezawa Mode Surface Acoustic Wave Resonators using AlScN on SiC},
author = {Xingyu Du and Nishant Sharma and Zichen Tang and Chloe Leblanc and Deep Jariwala and Roy H. Olsson},
journal= {arXiv preprint arXiv:2311.08694},
year = {2023}
}
备注
19 pages, 5 figures in main text and 3 figures in supplementary