62.6 GHz ScAlN 固态腔共挏声学器
信号处理
2026-01-28 v2
摘要
我们演示了一条记录性的62.6 GHz 固态腔共振声学器 (SMR)，其包含一层67.6 nm厚的硅铝氮化物 (Sc0.3Al0.7N) 压电层，位于40 nm厚的埋隧式铂金 (Pt) 底电极上，此电极位于由交替排列的SiO2 (28.2 nm) 和Ta2O5 (24.3 nm) 层构成的8.5对声学布尔反射器之上。布尔反射器与上方的压电堆叠被设计用于约束第三阶厚度延拨 (TE) 体声波 (BAW) 模态，同时高效地进行厚度场激励。制造的SMR显示提取的压电耦合系数 (k2) 为0.8%，且在63 GHz处的最大Bode质量因子 (Q) 为51，这是目前报道的SMR operating frequency的最高值。这些结果为下一代射频前端的mmWave滤波器和共振器设备铺平了道路。
引用
@article{arxiv.2510.11994,
title = {62.6 GHz ScAlN Solidly Mounted Acoustic Resonators},
author = {Yinan Wang and Byeongjin Kim and Nishanth Ravi and Kapil Saha and Supratik Dasgupta and Vakhtang Chulukhadze and Eugene Kwon and Lezli Matto and Pietro Simeoni and Omar Barrera and Ian Anderson and Tzu-Hsuan Hsu and Jue Hou and Matteo Rinaldi and Mark S. Goorsky and Ruochen Lu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2510.11994},
year = {2026}
}
备注
6 Pages, 7 Figures, 3 Tables