互补可切换双模 SHF 钪铝氮化物体声波谐振器
应用物理
2022-07-29 v2
摘要
本文提出了一种在 7.04 和 13.4 GHz 的第一和第二厚度伸缩模态（TE1 和 TE2）下具有互补可切换工作的体声波（BAW）谐振器。两层铁电钪铝氮化物（Sc0.28Al0.72N）与三层钼电极交替堆叠，构成具有组成换能器中极化独立可切换性的层状 BAW 谐振器。当铁电 Sc0.28Al0.72N 层分别被沿相同或相反方向极化时，该谐振器在 TE1 和 TE2 模态下实现本征可切换性。文中给出了互补可切换工作的广义解析证明，并推广至由任意层数 ScxAl1-xN 层构成的层状 BAW 谐振器。对于所展示的原型，在相应工作状态下测得 TE1 和 TE2 模态的机电耦合系数（k2t）分别为 10.1% 和 10.7%，品质因数（Q）分别为 115 和 151。除了展示在超高频段具有高 k2t 和 Q 的本征可配置工作外，层状 Sc0.28Al0.72N BAW 谐振器在切换周期下表现出可重复工作。
引用
@article{arxiv.2205.03446,
title = {Complementary-Switchable Dual-Mode SHF Scandium-Aluminum Nitride BAW Resonator},
author = {Dicheng Mo and Shaurya Dabas and Sushant Rassay and Roozbeh Tabrizian},
journal= {arXiv preprint arXiv:2205.03446},
year = {2022}
}