侧激发批量声波 (LBAW) X 切锂硼晶体共振器
系统与控制
2025-06-06 v1 系统与控制
摘要
本文展示了基于 X 切锂硼晶体 (LiNbO3) 的侧激发批量声波 (LBAW) 共振器，首次演示了其更高阶谐波 (LOBAW)，通过嵌入 recessed 结构的互指电极来实现，这使得同时利用 S0 和 SH0 振动模式成为可能。这种 recessed 电极结构将色散关系与薄膜厚度解耦，使共振频率能够通过光刻调谐，并且在单个基片上实现芯片级多频率扩展，同时增加静电容密度 (C0) 并降低 ohmic 损耗 (Rs)。所激发的 SH0 模式在基频 673 MHz 和第 1 超谐波 1.05 GHz 处的性能指标分别为 437 和 53。该提议的结构在未来的 5G/6G 高级射频前端模块中具有巨大的潜力，使能够在芯片上实现多频率扩展和改进性能。
引用
@article{arxiv.2506.04433,
title = {Laterally Excited Bulk Acoustic Wave (LBAW) X-Cut Lithium Niobate Resonators},
author = {Walter Gubinelli and Ryan Tetro and Pietro Simeoni and Luca Colombo and Matteo Rinaldi},
journal= {arXiv preprint arXiv:2506.04433},
year = {2025}
}
备注
4 pages, 7 figures, IFCS-EFTF 2025 conference