具有超大机电耦合系数和无杂散性能的双层薄膜铌酸锂纵向激发剪切波谐振器
应用物理
2025-10-14 v1
摘要
本工作提出了一种双层薄膜铌酸锂（LiNbO3）纵向激发剪切波谐振器，其理论机电耦合系数超过 60%，RaR 接近 28%，且无杂散模式。这一超大机电耦合系数接近铌酸锂的上限，远大于迄今为止报道的所有微波声学谐振器。基于 X 切薄膜铌酸锂，当薄膜厚度在数百纳米量级时，谐振器基模的频率可覆盖 1GHz 至 10GHz。该谐振器设计方便且灵活。通过改变电极或薄膜铌酸锂的厚度，可以单调地调节谐振频率，而不会引入额外的杂散模式。这种理想的谐振器架构也适用于钽酸锂（LiTaO3）。随着新一代移动通信的发展，该谐振器有望成为未来高性能、超宽带声学滤波器的关键解决方案。
引用
@article{arxiv.2405.17168,
title = {Double-layer Thin-film LiNbO3 Longitudinally Excited Shear Wave Resonators with Ultra-large Electromechanical Coupling Coefficient and Spurious-Free Performance},
author = {Zhen-Hui Qin and Shu-Mao Wu and Chen-Bei Hao and Hua-Yang Chen and Sheng-Nan Liang and Si-Yuan Yu and Yan-Feng Chen},
journal= {arXiv preprint arXiv:2405.17168},
year = {2025}
}
备注
15 pages,9 figures