基于混合波导与周期性电容加载电极的低半波电压、超高带宽薄膜 LiNbO3 调制器
应用物理
2021-03-08 v1 光学
摘要
提出并演示了一种新型薄膜 LiNbO3 (TFLN) 电光调制器。采用 LiNbO3-二氧化硅混合波导，在电极间距窄至 3 {\mu}m 时仍保持低光损耗，从而实现仅 1.7 V*cm 的创纪录低半波电压长度积。采用电容加载行波电极 (CL-TWEs) 以降低微波损耗，同时使用石英衬底替代硅衬底以实现速度匹配。所制备的具有 5 mm 长调制区的 TFLN 调制器表现出 3.4 V 的半波电压，在高达 67 GHz 的电光响应中仅 1.3 dB 滚降，并预测超过 110 GHz 的 3-dB 调制带宽。
引用
@article{arxiv.2103.03684,
title = {Low half-wave-voltage, ultra-high bandwidth thin-film LiNbO3 modulator based on hybrid waveguide and periodic capacitively loaded electrodes},
author = {Xuecheng Liu and Bing Xiong and Changzheng Sun and Jian Wang and Zhibiao Hao and Lai Wang and Yanjun Han and Hongtao Li and Jiadong Yu and Yi Luo},
journal= {arXiv preprint arXiv:2103.03684},
year = {2021}
}