38.7 GHz薄膜铌酸锂声学滤波器
信号处理
2023-11-13 v1
摘要
本工作展示了一款38.7 GHz声波梯形滤波器，其插入损耗（IL）为5.63 dB、3-dB相对带宽（FBW）为17.6%，推动了薄膜压电声学滤波器技术的频率极限。该滤波器通过将薄膜LiNbO3谐振器减薄至亚50 nm厚度，实现了高达5G毫米波（mmWave）频率范围2（FR2）频段的工作频率。128 Y切铌酸锂（LiNbO3）中一阶反对称（A1）模谐振器的高机电耦合系数（k2）和品质因数（Q）共同实现了首个毫米波声学滤波器。文中提出并缓解了叉指换能器（IDT）中电磁（EM）谐振的关键设计考量。这些结果表明薄膜压电谐振器可被推进至5G FR2频段。进一步的性能提升与频率扩展需要更优的谐振器技术及EM-声学滤波器协同设计。
引用
@article{arxiv.2311.05712,
title = {38.7 GHz Thin Film Lithium Niobate Acoustic Filter},
author = {Omar Barrera and Sinwoo Cho and Jack Kramer and Vakhtang Chulukhadze and Joshua Campbell and Ruochen Lu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2311.05712},
year = {2023}
}
备注
4 pages, 6 figures, accepted by IEEE MTT-S International Microwave Filter Workshop (IMFW) 2024