50 GHz 压电声学滤波器
信号处理
2026-03-02 v2
摘要
本文展示了声学滤波器技术向 50 GHz 频率的显著频率扩展。该成就得益于 P3F LiNbO3 多层堆叠结构，其中交替取向的压电薄膜依次转移，从而允许高效地利用具有高品质因子（Q）和高耦合系数（k2）的高阶模式。 demonstrated（展示的）滤波器由十二阶对称（S12）模式侧向场激励的批量声波共振器（XBARs）组成，这些共振器建于 4 层周期脉镀压电（P3F）128 Y 取向锂氮化物（LiNbO3）堆叠上。该滤波器显示 3.3 dB 插入损耗（insertion loss, IL）和 2.9% 的分数带宽（fractional bandwidth, FBW）。该微型设计具有 0.36 mm2 的占面积，使其适用于未来无线前端应用。这些结果代表迄今为止报告的最高频率声学滤波器，为压电滤波器技术树立了新的基准。进一步开发后，该平台可实现更高频率的滤波器，对于下一代通信系统至关重要。
引用
@article{arxiv.2506.22549,
title = {50 GHz Piezoelectric Acoustic Filter},
author = {Omar Barrera and Jack Kramer and Lezli Matto and Vakhtang Chulukhadze and Sinwoo Cho and Michael Liao and Mark S. Goorsky and Ruochen Lu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2506.22549},
year = {2026}
}
备注
11 pages, 16 Figures