基于巴特利特窗调制的 4.35 GHz 薄膜锂汞酸盐 Q 增强型 SH-SAW 梯形滤波器
信号处理
2026-05-20 v2
摘要
横向剪切面声波 (SH-SAW) 滤波器在低损耗、紧凑的 GHz 频率射频前端具有显著潜力。本文展示了一种在 4.35 GHz 处实现高性能 SH-SAW 滤波器的设计方案，采用 42°Y 切薄膜锂汞酸盐 (LiTaO3) 集成在 SiO2/Si 平台上。尽管薄铝金属化及其相关等电阻损耗有限于此，但我们表明，实施巴特利特窗调制技术（主要用于带内伪态抑制），可显著提升品质因数 (Q) 从常规互指纹 SH-SAW 共振器中的 688 提升至 1,522。这种增强使得在 4.3 GHz 处实现第三阶梯形滤波器，插入损耗为 1.59 dB（相较于常规 SH-SAW 滤波器的 1.65 dB）。此外，所示滤波器采用调制共振器设计，实现 3 dB 分数带宽 (FBW) 为 3.24%，且带外抑制超过 14 dB，全部集中在 0.4 mm² 的紧凑面积内。这些结果表明，调制薄膜 LiTaO3 设计在下一代通信与传感应用中具有高度前景，适用于低损耗、紧凑、经济的射频声学解决方案。
引用
@article{arxiv.2605.16586,
title = {Q-Enhanced SH-SAW Ladder Filter in Thin-Film Lithium Tantalate Using Bartlett Apodization},
author = {Taran Anusorn and Tzu-Hsuan Hsu and Yuchen Ma and Ruochen Lu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2605.16586},
year = {2026}
}
备注
4 pages, 7 figures