10-20 GHz 频段低损耗高阶横截面 Lamé 模式 SAW 器件
应用物理
2024-10-22 v2
摘要
本文提出了用于研究铌酸锂 (LN) 中传播损耗机制的声表面波 (SAW) 声延迟线 (ADL)。器件通过在碳化硅上的非晶硅上的 600 nm X-Cut LN 上沉积 50 nm 铝图案制备而成，旨在产生纵向主导的 SAW。制备完成后，利用声延迟线研究了高阶基于厚度的横截面 Lamé 模式和 Rayleigh 模式的 Q 因子。利用双向电极，测量了横向 lambda 值在 0.4 um 至 0.6 um 之间的 ADL。发现高阶 Lamé 模式的 Q 因子始终高于其对应的 Rayleigh 模式，约为 1000-3000，表明高频 SAW 器件仍是在不大幅增加损耗的情况下进行频率缩放的可行候选者。
引用
@article{arxiv.2409.14272,
title = {Low-Loss Higher-Order Cross-Sectional Lam\'e Mode SAW Devices in 10-20 GHz Range},
author = {Ian Anderson and Tzu-Hsuan Hsu and Vakhtang Chulukhadze and Jack Kramer and Sinwoo Cho and Omar A. Barrera and Joshua Campbell and Ming-Huang Li and Ruochen Lu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2409.14272},
year = {2024}
}
备注
4 pages, 7 figures, accepted by IEEE UFFC-JS