量子 regime 下薄膜压电衬底上的表面声波谐振器
应用物理
2023-04-14 v2 材料科学
摘要
铌酸锂（LNO）是用于包括谐振器、延迟线和滤波器在内的表面声波（SAW）器件的成熟材料。近来，基于 LNO 薄膜的多层衬底已可商用。在此，我们系统地低温研究在 LNO-on-insulator 与 LNO-on-Silicon 衬底上制备的 SAW 器件性能，并将其与体 LNO 器件比较。我们的研究旨在评估这些衬底用于量子声学（即与量子 regime 下工作的超导电路集成）的性能。为此，我们设计目标频率为 5 GHz 的 SAW 谐振器，并在毫开尔文温度及对应于单光子或单声子的微波功率水平下进行实验。针对这些器件，考察其作为激励功率与温度函数的内部品质因数，从而使我们能够刻画并量化损耗、识别主导损耗机制。对于所测器件，对实验数据的拟合表明，品质因数受谐振器与两能级系统浴耦合的限制。我们的结果表明，硅上薄膜 LNO 上的 SAW 器件与体 LNO 上的器件性能相当，并可用于基于 SAW 的量子声学器件。
引用
@article{arxiv.2301.11213,
title = {Surface acoustic wave resonators on thin film piezoelectric substrates in the quantum regime},
author = {Thomas Luschmann and Alexander Jung and Stephan Geprägs and Franz X. Haslbeck and Achim Marx and Stefan Filipp and Simon Gröblacher and Rudolf Gross and Hans Huebl},
journal= {arXiv preprint arXiv:2301.11213},
year = {2023}
}
备注
13 pages, 4 figures