用于 6G 厘米波段的绝缘体上薄膜铌酸锂表面声波器件

在这项工作中，我们研究了基于绝缘体上铌酸锂 (LNOI) 衬底的剪切水平 (S.H.) 表面声波 (SAW) 谐振器向 6G 无线系统厘米波段的频率缩放。制造了波长在 240 nm 至 400 nm 之间的原型谐振器，实验结果显示在 9.05 至 13.37 GHz 之间成功实现了频率缩放。然而，随着谐振频率 ($f_s$) 的缩放，可以观察到明显的性能退化。这种效应预计是由较小 $\lambda$ 器件的非理想 $h_{elec}/\lambda$ 引起的。优化后的 $\lambda$ 为 400 nm 的 LNOI SH-SAW 表现出 9.05 GHz 的 $f_s$、15% 的 $k_{eff}^2$、213 的 $Q_{max}$ 和 32 的 FoM，这表明针对厘米波段的器件实现是成功的。