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绝缘体上铌酸锂中可调大自由光谱范围微环谐振器

应用物理 2018-12-03 v2 介观与纳米尺度物理 光学 量子物理

摘要

微环谐振器是用于滤波、传感和非线性应用的关键光子器件。迄今为止,LNOI(绝缘体上铌酸锂)中高性能微环谐振器的发展受到所制备脊形波导的侧壁角、粗糙度和刻蚀深度的限制。我们展示了通过电子束光刻在高折射率对比度ZZ切 LNOI 中制备的大自由光谱范围微环谐振器。我们的微环谐振器在环半径为 30 μ\mum 时实现了大于 5 nm 的 FSR(自由光谱范围)和较大的 3 dB 谐振带宽。我们展示了 70 μ\mum 半径环的 3 pm/V 电光调谐。该工作将实现 LNOI 中高效的片上滤波,并为未来更复杂的微环谐振器网络和非线性场增强应用奠定基础。

关键词

引用

@article{arxiv.1807.06531,
  title  = {Tunable large free spectral range microring resonators in lithium niobate on insulator},
  author = {Inna Krasnokutska and Jean-Luc J. Tambasco and Alberto Peruzzo},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1807.06531},
  year   = {2018}
}