基于更高阶反称模的薄膜锂氮酸盐高 Q 型毫米波声学共振器
应用物理
2026-02-13 v4
摘要
本文报道了一种基于单层薄膜锂氮酸盐（LN）平台的微型毫米波（mmWave，>30 GHz）声学共振器。更具体地，本文提出了采用第三阶反称（A3）模的横向激励型bulk声学共振器（XBAR）。与以往演示相比，所提平台因较小的横向波长和光圈而具有紧凑的占位面积。我们展示了一个工作于 39.8 GHz 的 A3 模型器件，提取电机耦合系数（k^2）为 4%，3-dB 串联谐振品质因数（Q_s）为 97，3-dB 反谐振品质因数（Q_p）为 342，导致性能指标（FoM=k^2*Q_p）为 13.7，器件面积为 32×44 微米²。为验证频率可扩展性，本文对 piezoelectric 薄膜厚度进行变更，保持器件布局不变。结果呈现了覆盖 30-50 GHz 频段的多款高性能器件，验证了 mmWave 上的 XBAR 设计。
引用
@article{arxiv.2505.06247,
title = {High-Q Millimeter-Wave Acoustic Resonators in Thin-Film Lithium Niobate Using Higher-Order Antisymmetric Modes},
author = {Vakhtang Chulukhadze and Jack Kramer and Tzu-Hsuan Hsu and Omar Barrera and Ruochen Lu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2505.06247},
year = {2026}
}
备注
4 pages with 1 page of reference