带有铝电极的铌酸锂-on-铌酸锂谐振器
应用物理
2023-07-10 v1
摘要
在这项工作中，我们成功地在铌酸锂薄膜 on 铌酸锂承载晶圆（LN-on-LN）平台上设计并测试了由铝叉指换能器（IDTs）驱动的悬浮横向振动谐振器（LVRs）。与铌酸锂-on-硅系统不同，LN-on-LN 平台提供了具有体单晶质量的应力中性铌酸锂薄膜。这些由铝 IDT 驱动的 LN-on-LN 谐振器的制备是利用前沿的气相 HF 释放技术实现的。我们的测试揭示了 LVR 谐振器中的对称（S0）和水平剪切（SH0）横向振动。谐振器显示品质因数（Q）介于 500 至 2600 之间，耦合系数 高达 13.9%。优值（FOM） 可高达 294。这些器件的良率被证明是极为可靠的。值得注意的是，我们的 LN-on-LN 器件展现出一致稳定的频率温度系数（TCF）和良好的功率处理能力。鉴于铌酸锂的低热导率，我们的 LN-on-LN 技术为未来应用如采用单片集成谐振器阵列的高灵敏度非制冷传感器展现了良好潜力。
引用
@article{arxiv.2307.03358,
title = {Niobate-on-Niobate Resonators with Aluminum Electrodes},
author = {Yiyang Feng and Sen Dai and Sunil A. Bhave},
journal= {arXiv preprint arXiv:2307.03358},
year = {2023}
}