利用高阶准纵 S5 与 S6 模式的液体介质 Lamb 波传感器
应用物理
2022-02-22 v1
摘要
已有报道指出，高阶准纵（QL）Lamb 波在比基对称模式更大的厚度-波长比（h/l）下可用于液体介质中的传感器应用，其主要优势在于可在不减小板厚的情况下拥有更高的工作频率并缩小器件总体尺寸。然而，机电耦合系数（K2）的降低这一权衡阻碍了采用更高阶数 QL Lamb 波。本文通过有限元仿真，并基于厚 GaAs 衬底上的双端口延迟线器件，实验验证了在液体介质中利用 S5 与 S6 QL Lamb 波模式的可能性。尽管高阶数 QL 模式的 K2 值更低，谐振频率处 S21 传输参数的信号幅值仍可与噪声基底区分。结果表明，在更高 h/l 比下采用高阶模式用于液体介质传感器应用是可行的，从而可进一步减小波长与传感器器件的总体尺寸。
引用
@article{arxiv.2107.13677,
title = {Lamb waves sensor in liquid media utilizing higher-order quasi-longitudinal S5 and S6 modes},
author = {Muhammad Hamidullah and Nassim Rezzag and Céline Élie-Caille and Thérèse Leblois},
journal= {arXiv preprint arXiv:2107.13677},
year = {2022}
}