ZnO/GaAs 高阶 Lamb 波用于液体介质中微传感器的理论研究与有限元仿真
应用物理
2021-08-02 v1
摘要
以纵向位移分量为主的 Lamb 波已被报道用于液体介质中的传感器应用。然而，它们仍受限于低板厚-波长（h/l）比的基础对称模式，导致波长较大且谐振频率较低。在此我们展示了对 GaAs 和 ZnO/GaAs 板上高阶 Lamb 波的有限元仿真研究。在较高的 h/l 比下获得了面内极化的准纵向高阶 Lamb 波，从而实现了更高的谐振频率。固-液接触仿真显示了声学能量在板内的约束。结果证明了 ZnO/GaAs 高阶准纵向模式用于液体介质中微传感器的适用性。
引用
@article{arxiv.2107.14485,
title = {Theoretical study and finite element simulation of ZnO/GaAs higher-order Lamb waves for microsensor application in liquid media},
author = {Muhammad Hamidullah and Céline Élie-Caille and Thérèse Leblois},
journal= {arXiv preprint arXiv:2107.14485},
year = {2021}
}