用于高频谐振器的零群速度声波导
应用物理
2018-05-17 v1
摘要
为了利用本征零群速度（ZGV）特性设计无需金属条光栅或悬空边缘来约束声学能量的电声谐振器，本文对硅-on-绝缘体（SOI）/AlN 薄支撑结构上的类 Lamb 模式传播进行了理论研究。在数百 MHz 至 1900 MHz 的频率范围内，研究了 SOI/AlN 复合板中的 ZGV 谐振条件，即模式群速度消失而相速度保持有限时的频率。发现了一些主要出现在低阶模式中的 ZGV 点。在 -30 至 220 {\deg}C 温度范围内研究了这些点的热行为，并估算了 ZGV 谐振频率的温度系数（TCF）。假设器件表面覆盖有可选择性吸附二氯甲烷（CH2Cl2）、三氯甲烷（CHCl3）、四氯化碳（CCl4）、四氯乙烯（C2Cl4）和三氯乙烯（C2HCl3）的薄聚异丁烯（PIB）薄膜，在常压和室温下研究了作为气体传感器工作的 ZGV 谐振器的行为。针对非均匀板的前四个 ZGV 点，理论估算了传感器对空气中气体浓度的灵敏度。理论证明了基于 SOI 和压电薄膜技术的高频、低 TCF 电声微谐振器的可行性。
引用
@article{arxiv.1805.06251,
title = {Zero-Group-Velocity acoustic waveguides for high-frequency resonators},
author = {C. Caliendo and M. Hamidullah},
journal= {arXiv preprint arXiv:1805.06251},
year = {2018}
}