K 频段基于 LiNbO3 的 A3 Lamb 波共振器及亚波长穿孔设计

针对 Lamb 波共振器的关键挑战，本文首次验证了采用亚波长穿孔设计的共振器。以 LiNbO3 单晶薄膜基的 A3 模式共振器，工作于 K 频段为突出示例，展示了穿孔设计的优势。在无需额外加工步骤的情况下，同时保持器件性能——包括工作频率、电机耦合系数和品质因数——且不引入额外谐振模态，此方法有效减少了压电 LN 薄膜的无效悬臂区域，从而可能提升机械和热稳定性。它还标准化了 various Lamb 波共振器在单片晶圆上的刻蚀距离（和时间），促进了 Lamb 波滤波器的开发。穿孔技术的灵活性——孔径几何和布置均有宽松约束——进一步凸显了其重要性。伴随其他优势，这些特征凸显了穿孔在推动 Lamb 波共振器和滤波器实际实现中的变革性潜力。