11.7 GHz ScAlN FBAR滤波器：规模限制与挑战的案例研究
应用物理
2025-11-18 v3
摘要
本文报道了一种基于单层Scandium Aluminum Nitride（ScAlN）薄膜声学共振器（FBARs）制造的11.7 GHz紧凑型50欧欧姆梯形滤波器，铬电极，并将其作为直接缩放至更高频率时所遇限制的定量案例研究。测量得到的滤波器实现了3 dB分数带宽（FBW）为4.0%，且带外抑制大于23.1 dB，最小插入损耗（IL）为6.8 dB。我们通过定量框架分析了此性能的来源：（1）损耗分解研究，（2）频率偏移灵敏度解释模拟与测量中心频率之间的差异，（3）串联并联分离和端口阻抗对FBW的灵敏度，（4）受应力限制的孔径约束限制器件尺寸。结果确立了直接缩放单层ScAlN FBAR滤波器的真实、可制造的基线，并概述了材料、电极和应力管理方向，以实现更低损耗的mmWave声学滤波器。
引用
@article{arxiv.2509.03679,
title = {An 11.7-GHz ScAlN FBAR Filter: Case Study on Scaling Limits and Challenges},
author = {Sinwoo Cho and Byeongjin Kim and Lezli Matto and Omar Barrera and Pietro Simeoni and Yinan Wang and Michael Liao and Tzu-Hsuan Hsu and Jack Kramer and Matteo Rinaldi and Mark S. Goorsky and Ruochen Lu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2509.03679},
year = {2025}
}
备注
9 pages, 14 figures, 1 table