用于未来无线通信的掺钪氮化铝过模体声波谐振器
系统与控制
2024-04-24 v1 系统与控制
摘要
本文报告了用于高频射频（RF）应用（特别是5G技术及未来）的13 GHz 30%掺钪氮化铝（ScAlN）过模体声波谐振器（OBAR）的建模、制造和实验表征。有限元分析（FEA）优化过程针对顶部和底部金属电极厚度，平衡机电耦合系数和声能分布以提升器件品质因数（FOM）。采用铂和铝分别作为底部和顶部电极的制造器件的实验结果表明，在13.3 GHz的第二个体厚度泛音下，谐振品质因数（Qs）为210，耦合系数（kt2）为5.2%，有效验证了仿真框架，并暗示了OBAR在5G网络先进射频滤波器中的可能实现。
引用
@article{arxiv.2404.15005,
title = {Scandium Aluminum Nitride Overmoded Bulk Acoustic Resonators for Future Wireless Communication},
author = {Walter Gubinelli and Pietro Simeoni and Ryan Tetro and Luca Colombo and Matteo Rinaldi},
journal= {arXiv preprint arXiv:2404.15005},
year = {2024}
}
备注
4 pages, 4 figures, submitted to 2024 Hilton Head Workshop Proceedings