一种带垂直电极的体声共振器用于宽带滤波器
应用物理
2026-02-04 v1
摘要
射频(RF)前端用于当前和下一代(5G和6G)无线通信，对需要兼具宽带宽、高功率能力和热稳定性的声学滤波器提出了要求。现有的表面声波(SAW)和体声波(BAW)技术面临电磁机械耦合、光 lithography 可调性和鲁棒性之间的内在权衡。本文引入了一种带垂直电极的体声共振器(VBAR)，该器件组合了悬臂式和固态 mounted 共振器的优势。VBAR采用带有侧壁电极的锂硝酸盐(LiNbO3)脊柱，以激发横向剪切体声共振，通过光 lithography 实现频率控制，同时机械地锚定在基片上。制造的 VBAR 在 2-4 GHz 频段的电磁机械耦合系数超过 30%，可实现接近 20% 的比例带宽的梯形滤波器。尽管进一步优化仍然是必要的以最小化损耗，但 VBAR 概念为下一代无线系统提供了一条实现宽带且稳健 RF 滤波器的备选路径。
引用
@article{arxiv.2602.02782,
title = {A bulk acoustic resonator with vertical electrodes for wideband filters},
author = {Silvan Stettler and Edgar Navarro-Gesse and Carlos Collado and Jordi Mateu and Luis G. Villanueva},
journal= {arXiv preprint arXiv:2602.02782},
year = {2026}
}
备注
Presented at IEEE IUS 2025 in Utrecht, September 16 2025, Paper ID 2977